โครงสร้างและหลักการทํางานของเครื่องส่งสัญญาณความดันซิลิคอนแบบกระจาย

องค์ประกอบโครงสร้างของเครื่องส่งสัญญาณความดันซิลิคอนแบบกระจาย

ตั้งแต่เอาท์พุทของเซ็นเซอร์ความดันอัพเอ็กซ์ 19เป็นสัญญาณมาตรฐานในการใช้งานจริงเพื่อให้เซ็นเซอร์สากลและอํานวยความสะดวกในการส่งสัญญาณและการบันทึกเซ็นเซอร์จะใช้ร่วมกับวงจรสัญญาณมาตรฐานเพื่อส่งสัญญาณมาตรฐาน เซ็นเซอร์ที่ส่งสัญญาณมาตรฐานในเวลานี้เรียกว่าเครื่องส่งสัญญาณความดันอัพบี13.

ในระยะสั้นเครื่องส่งสัญญาณจะค่อยๆพัฒนาจากเซ็นเซอร์ เครื่องส่งสัญญาณความดันซิลิคอนแบบกระจายที่ศึกษาในกระดาษนี้ประกอบด้วยเซ็นเซอร์ MEMS ส่วนใหญ่วัดแคปซูลอินเตอร์เฟซและวงจรการประมวลผล (แผงวงจรสมาร์ท)

เซ็นเซอร์ความดันและเซ็นเซอร์อุณหภูมิไดโอดจะถูกบรรจุอยู่ด้านบนของแคปซูลวัดและร่างกายแคปซูลจะถูกยึดโดยสองหน้าแปลนปิดผนึกในรูปแบบส่วนการวัดของเครื่องส่งสัญญาณซึ่งมีหน้าที่ในการแปลงสัญญาณความดันที่จะวัดที่สถานที่ทํางานเป็นสัญญาณแรงดันไฟฟ้า นอกจากนี้แผงวงจรอิเล็กทรอนิกส์ส่วนหัวจอแสดงผลผลึกเหลวและขั้วการเชื่อมต่อเป็นส่วนจอแสดงผลซึ่งมีหน้าที่ในการแปลงสัญญาณไฟขาออกโดยเซ็นเซอร์เป็น 4-20mA ผ่านการขยายแล้วส่งสัญญาณมาตรฐานปัจจุบัน

หลักการทํางานของเครื่องส่งสัญญาณความดันซิลิโคนแบบกระจาย

ส่วนประกอบยืดหยุ่นถูกประดิษฐ์ในทิศทางที่แน่นอนบนแผ่นซิลิกอนด้วยเทคโนโลยีการประมวลผลไมโครเครื่องกลไฟฟ้าขั้นสูงและตัวต้านทานที่ไวต่อแรงสี่ตัวที่มีความต้านทานเท่ากันถูกประดิษฐ์โดยเทคโนโลยีวงจรรวมในตําแหน่งที่เหมาะสมซึ่งเชื่อมต่อกับสะพาน Wheatstone แรงดันไฟฟ้าคงที่ (ปัจจุบัน) ถูกนําไปใช้กับสะพานและความดันที่วัดจะถูกส่งไปยังชิปซิลิกอนผ่านน้ํามันซิลิโคนปิดผนึกในแคปซูลวัดโดยไม่สูญเสียจากนั้นส่งสัญญาณเอาท์พุทสัญญาณแรงดันสัดส่วนเชิงเส้นกับความดันที่จะวัดแล้วสัญญาณแรงดันไฟฟ้าจะถูกขยายและแปลงเป็นสัญญาณมาตรฐานสองสายผ่านวงจรอิเล็กทรอนิกส์

สรุป:

สามารถเป็นที่รู้จักกันจากหลักการทํางานของเซ็นเซอร์ความดันเป็นส่วนสําคัญของเครื่องส่งสัญญาณความดันอัพบี1และแหล่งหลักของการลอยของอุณหภูมิของเครื่องส่งสัญญาณคืออุณหภูมิลอยของเซ็นเซอร์ความดันซิลิคอน การวิจัยในปัจจุบันเกี่ยวกับการชดเชยอุณหภูมิ drift ของเครื่องส่งสัญญาณความดันซิลิคอนยังเน้นส่วนใหญ่ในส่วนของเซ็นเซอร์ความดันซิลิคอน

สําหรับรายละเอียดกรุณาติดต่อฉีฮวง